日本视频三区在线播放-国产护士av美腿丝袜美腿-粉嫩精品国产尤物在线观看-国产精品永久在线播放

咨詢熱線

13584134215

當前位置:首頁  >  新聞中心  >  一文搞懂勻膠機旋涂儀的工作原理

一文搞懂勻膠機旋涂儀的工作原理

更新日期:2022-08-12      點擊次數(shù):2103
  勻膠機旋涂儀廣泛應(yīng)用于MEMS微加工、生物、材料等領(lǐng)域。它可用于制備厚度小于10nm的薄膜。它也常用于厚度約為1-100微米的光刻膠沉積層的光刻工藝中。許多平面基板材料可用于涂層,如半導(dǎo)體硅片、載玻片、晶片、基板、ITO導(dǎo)電玻璃等。
 
  勻膠機旋涂儀的工作原理:
 
  通過在晶片支架上產(chǎn)生負壓,待旋涂的基材吸附在晶片架上,膠水滴在基材表面。通過精確調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速來改變離心力。同時,滴膠裝置控制膠水的流速,以達到制備薄膜所需的厚度。此外,涂膜厚度還取決于旋涂時間、膠液粘度、涂膜溫度和濕度等環(huán)境因素。
 
  靜態(tài)滴加是簡單地將光刻膠滴到靜態(tài)襯底表面的中心,滴加量為1-10ml。滴膠量應(yīng)根據(jù)光致抗蝕劑的粘度和基材的尺寸確定。如果粘度高或基材大,通常需要滴更多的膠水,以確保在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基材都涂上膠水。
 
  動態(tài)滴下方法是在基板以低速旋轉(zhuǎn)時滴下光致抗蝕劑。“動態(tài)”功能是使光刻膠易于在基板上擴散,減少光刻膠的浪費。動態(tài)滴涂法可以在沒有大量光刻膠的情況下濕潤整個基板表面。特別是當光致抗蝕劑或基板本身的潤濕性不好時,動態(tài)滴膠特別適用,不會產(chǎn)生針孔。
 
  滴膠后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。光致抗蝕劑層被減薄以達到最終所需的膜厚度。旋轉(zhuǎn)速度的選擇還取決于光致抗蝕劑的性能(包括粘度、溶劑揮發(fā)速度、固體含量和表面張力等)和基底的尺寸??焖傩D(zhuǎn)的時間范圍從10秒到幾分鐘。均勻化的速度和時間通常決定最終膜的厚度。
江蘇雷博科學儀器有限公司
  • 聯(lián)系人:陸燕
  • 地址:江蘇江陰金山路201號創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
  • 郵箱:lu.yan@leboscience.cn
關(guān)注我們

歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號了解更多信息

掃一掃
關(guān)注我們
版權(quán)所有©2024江蘇雷博科學儀器有限公司All Rights Reserved    備案號:蘇ICP備17018030號-2    sitemap.xml    總訪問量:163352
管理登陸    技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)    

聯(lián)


沽源县| 杭锦旗| 彭阳县| 甘孜| 北安市| 大同市| 平乐县| 富源县| 麻江县| 九台市| 黄浦区| 正蓝旗| 亚东县| 建宁县| 阿拉尔市| 修文县| 军事| 汝州市| 城固县| 北票市| 民权县| 怀来县| 辽宁省| 蒙阴县| 朝阳区| 海伦市| 紫金县| 重庆市| 汽车| 新竹市| 花莲市| 贺州市| 堆龙德庆县| 铜鼓县| 阿荣旗| 祁阳县| 邯郸市| 永福县| 湟源县| 伊通| 缙云县|