臺式勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝。臺式勻膠機的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,臺式勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。
臺式勻膠機的使用注意事項:
1、請使用本機規(guī)定的電源;
2、要防止電源線壓在機腳下,以防損傷電源線導致觸電;
3、每次開機前要注意將“控制”、“吸片”鍵抬起,以避免未啟動時電機即轉;
4、不同片子選用不同規(guī)格的片托,片子不能小于片托外形尺寸,否則,一是漏氣,二是膠會通過片托上的吸氣槽吸到光電盤吸氣孔,抽氣室及抽氣管道,長期使用發(fā)生堵塞;
5、勻膠機在使用后要注意清洗,避免膠將抽氣孔堵塞,清洗方法是:取下片托和盛膠器進行清洗,然后再裝上即可;
6、按下“吸氣”鍵應聽到電磁閥的動作聲,如果有噪聲可反復按此鍵即可消除;
7、本機一旦出現(xiàn)故障或異常情況請立即切斷電源。
8、本機無吸氣和電機連鎖裝置,在氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉產生飛片,故在啟動電機前須確認吸片確已吸住。
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