勻膠機旋涂儀操作簡單,結構緊湊,占地面積小,為實驗室提供了理想的解決方案??捎糜趯嶒炇翼椖拷ㄔO,除半導體外,還可用于硅片、芯片、基板、導電玻璃和制版等表面涂層工藝,用于科研和教學。
勻膠機旋涂儀使用時的注意事項:
1、使用前,主要檢查設備與真空泵、氮氣瓶接口是否泄漏;
2、實驗過程中,依次打開設備電源開關、氮氣/干氣瓶閥門和真空開關。實驗結束時,先關閉真空,然后關閉氮氣/干氣瓶的閥門;
3、氮氣/干氣的壓力控制不宜過大。建議從0.35Mpa開始緩慢增加氮氣瓶壓力,直到設備控制面板上的CDA停止閃爍;
4、嚴禁將過多、過重的物料放置在設備的限制范圍之外,否則會損壞設備的旋轉控制精度;
5、如果使用大的吸附盤投擲小的樣品片,會發(fā)生空氣泄漏,膠水會被吸入空氣提取室,導致空氣路徑堵塞;
6、如不慎將膠水吸入抽氣室,應立即清洗,否則吸附盤、光電盤和電機軸會粘在一起,導致電機旋轉,難以拆卸;
7、當氣路堵塞或氣泵損壞時,電機也可以運行,產(chǎn)生飛片。因此,在啟動電機之前,必須確認氣泵處于良好狀態(tài),且吸入件已被吸入;
8、在實驗過程中,當設備處于閑置狀態(tài)時,為了保護泵的工作性能,請關閉真空泵。建議泵的連續(xù)運行時間不應超過1小時;
9、實驗結束后,請將設備內腔內的殘留物擦拭干凈,清空廢液接收罐,用原件覆蓋,并用塑料信封覆蓋每個裝置,避免污染。